测量过程中接触式测头预行程误差的定量分析

非球面光学零件凭借在光学系统中的作用：有效校正系统像差，扩大系统视觉角度，减轻系统整体质量缩小系统体积等，正被广泛应用于各类型的高精尖科技生产加工领域。

非球面面型检测技术不可避免的成为加工工艺的一部分，且相当重要，所以如何能够准确快速高效地检测出非球面零件的面型信息至关重要。光学测量方法众多且测量精度可以达到纳米级别，但是这种光学测量又会可能收到空气介质和灰尘的影响，对于待测零件的表面精度要求比较高，设备成本也很高。一般应用在精密抛光阶段对最终成型的零部件进行测量。

接触式测量具有更高的适用性，性价比高，精确度也高，虽然也存在误差如接触变形误差和零件表面划伤风险，但是在实际加工过程中，还是接触型测量更加有用，可靠，有实用性，主要应用于零件的精磨阶段。针对测量过程中触发式测头预行程误差进行分析，通过对测杆弯曲变形和测球变形的受力分析，建立预行程误差模型，在进行深入分析，通过对接触力的理论推理，精确计算出预行程误差值，由此可以深入研究预行程误差补偿方法。

在实际测量的过程中，由于测头自身机械响应的滞后，接触到被测零件表面时并不会立即发出触发信号，所以从测头接触到被测零件表面到被触发这一过程，就是叫做测头预行程误差。而影响这种误差的因素又众多，如测杆弯曲位移导致误差，测球接触位移误差等等，所以在做预行程误差分析时，要特别注意的是，为了精确计算测头预行程误差，针对不同误差原因因素，分别进行数学建模，对误差进行定量分析。